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p型透明導(dǎo)電氧化物CuAlO2薄膜的研究進展
透明導(dǎo)電氧化物(TCO)的出現(xiàn)開拓了光電子器件研究的新領(lǐng)域.但p型TCO的相對匱乏嚴(yán)重制約了透明氧化物半導(dǎo)體(TOS)相關(guān)器件的開發(fā)與應(yīng)用.CuAlO2作為一種天然的p型TCO成為近年來p型TCO的研究熱點.介紹了p型TCO的研究現(xiàn)狀,綜述了不同制備方法制備p型CuAlO2薄膜的研究進展,以及在器件方面的應(yīng)用,并對其前景進行了展望.
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