溶膠-凝膠VO2薄膜轉(zhuǎn)換特性研究?

利用溶膠-凝膠法在SiO2/Si 襯底上沉積高取向的V2O5薄膜,在壓強(qiáng)低于2Pa,溫度高于400℃的條件下,對(duì)V2O5薄膜進(jìn)行真空烘烤,獲得了電阻率變化3個(gè)數(shù)量級(jí)以上、弛豫寬度為6.2℃的VO2多晶薄膜.以X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)圖和電阻率轉(zhuǎn)換特性等實(shí)驗(yàn)結(jié)果為依據(jù),詳細(xì)分析了溶膠-凝膠薄膜在真空烘烤時(shí)從V2O5向VO2的轉(zhuǎn)化,它經(jīng)歷了從VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的過(guò)程.實(shí)驗(yàn)證明,根據(jù)選擇合適的成膜熱處理?xiàng)l件和真空烘烤條件是實(shí)現(xiàn)溶膠-凝膠V2O5結(jié)構(gòu)向VO2結(jié)構(gòu)成功轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵.

作 者： 袁寧一 李金華 林成魯   作者單位： 袁寧一(江蘇石油化工學(xué)院信息科學(xué)系功能材料實(shí)驗(yàn)室,常州,213016；中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海,200050)

李金華(江蘇石油化工學(xué)院信息科學(xué)系功能材料實(shí)驗(yàn)室,常州,213016)

林成魯(中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海,200050) 

刊 名： 物理學(xué)報(bào)  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(4)  分類號(hào)： O4  關(guān)鍵詞： 溶膠-凝膠法   氧化釩薄膜   VO2膜轉(zhuǎn)換特性  

【溶膠-凝膠VO2薄膜轉(zhuǎn)換特性研究?】相關(guān)文章：

TiO2薄膜的溶膠-凝膠法制備及其光學(xué)特性04-26

溶膠-凝膠法制備CoFe2O4/TiO2納米復(fù)合薄膜及其磁性能研究04-26

不同氧分壓下ZrO2薄膜特性研究04-26

凝膠試驗(yàn)特性數(shù)據(jù)分析04-26

溶膠凝膠法制備銅系催化劑及其穩(wěn)定性研究04-25

溶膠-凝膠法制備分子篩/SiO2對(duì)氨氮的吸附研究04-26

N 摻雜ZnO薄膜的接觸特性04-26

納米硅鑲嵌復(fù)合薄膜退火前后的微結(jié)構(gòu)及發(fā)光特性研究04-26

半干旱區(qū)冬春季黑碳?xì)馊苣z吸收特性的觀測(cè)研究04-26

氮化鎵粉末的溶膠-凝膠法制備及其結(jié)構(gòu)分析04-26